业内人士：除了EUV光刻机 中芯国际几乎可以买到其他所有型号的光刻机

财联社3月3日讯，据业内资深人士透露，除了EUV光刻机，中芯国际几乎可以买到其他所有型号的光刻机，包括DUV（深紫外）光刻机。

相关阅读：

中芯国际：与ASML签订购买单 金额达12亿美元

经济观察网 记者 沈怡然 3月3日，中芯国际发公告称，公司根据批量采购协议，已于2020年3月16日至2021年3月2日的12个月期间，就购买阿斯麦产品与阿斯麦集团签订了一份高达12亿美元价格的购买单。

签订方是阿斯麦上海，根据公告，该公司是ASML Holding N.V.的附属公司之一。公司称，自2018年1月起，公司就与阿斯麦有批量采购协议，现将协议期限延长一整年至2021年12月31日。采购方式上，中芯国际需支付30%首期付款，其余部分在交货时支付。

荷兰公司ASML是全球最大的光刻机制造商，光刻机是芯片制造所需的关键设备。记者曾从ASML处获悉，该公司多年和中国业务往来频繁，中国大陆市场占其总销售10%以上，中芯国际一直是ASML在中国区的客户，两者存在上下游的直接供应关系。

值得注意的是，对于这项12亿美元订单包含的产品、机器型号，公司尚未公布。而不同类型的设备，对于中芯国际研发生产能力的推进有很大不同，究竟是能解决高端芯片、还是中低端芯片的扩产，尚未可知。

当前中芯国际正布局先进和传统制程两类芯片，都需要光刻机的支撑。阿斯麦的EUV(极紫外光刻技术)，能推进中芯国际7nm/5nm芯片，而其DUV(深紫外线光科技术)则支撑着中芯国际传统产线的建造和扩产，例如公司在今年最被市场看好的8英寸芯片产能，就来自传统产线。

根据公开材料，目前EUV设备正受国际协议限制形成了出口管制，而在芯片制造厂中运用广泛的DUV设备，是不受国际协议限制的。

根据公告，两者重新修订采购协议的时间点是2021年2月1日，正发生在美国政府换任、美国更新芯片产业政策的背景之下。

芯片制造成熟工艺获美供应许可？中芯国际回应

澎湃新闻记者 周玲

3月2日，针对媒体报道称，中芯国际的成熟工艺已获得部分美国设备厂商的供应许可，中芯国际在上证e互动上回复称，公司会尽最大努力，持续携手全球产业链伙伴，保证公司生产连续性及扩产规划不受影响。

中芯国际强调，虽然不确定性依然存在，但公司始终坚持依法合规经营，有信心保证公司短期内生产经营不受重大不利影响。

此前，摩根士丹利发布报告称，美国设备供应商近期恢复了对中芯国际的零组件供应和现场服务，一定程度上缓解了外界对于中芯国际消耗品储备及设备的售后担忧。

报告进一步指出，中芯国际成熟制程业务有望获得设备供应的许可，高通仍坚持与中芯国际合作解决PMIC供应短缺问题，联发科、瑞昱半导体等部分中国台湾芯片厂商也正向中芯国际寻求更多产能，预计中芯国际2021年收入将增长10%－15%。

3月2日，芯谋研究发布报告称，美国商务部、国防部、能源部和国务院四个部门，已批准美领先设备厂商，对中芯国际供应14纳米及以上（14纳米及28等成熟工艺）设备的供应许可。“不仅如此，此前中芯国际一直申请但未通过的用于14纳米晶圆外延生长的关键设备也获得了批准。而对于10纳米及以下技术节点的出口许可，暂无进展。”芯谋研究这份报告称。

2020年12月20日，中芯国际对被美国列入实体清单作出解释公告。公告称，公司被列入实体名单后，根据美国相关法律法规的规定，针对适用于美国《出口管制条例》(Export Administration Regulations)的产品或技术，供应商须获得美国商务部的出口许可才能向公司供应。对用于10纳米及以下技术节点（包括极紫外光技术）的产品或技术，美国商务部会采取“推定拒绝”（Presumption of Denial）的审批政策进行审核。同时公司为部分特殊客户提供代工服务也可能受到一定限制。

中芯国际表示，经初步评估，上述事项对公司短期内运营及财务状况无重大不利影响，对10纳米及以下先进工艺的研发及产能建设有重大不利影响，公司将持续与美国政府相关部门 进行沟通，并视情况采取一切可行措施，积极寻求解决方案，力争将不利影响降到最低。

中芯国际联合CEO赵海军早前在财报电话会议上指出，由于中芯国际过去20年中与美国供应商一直保持着稳定的合作关系，因此有大量美国供应商是中芯国际的第一选择，而根据美国出口管制条例的规定，源于美国的部分都要申请准证。赵海军强调，公司和供应商们都在第一时间积极地申请准证，供应商也一直在对中芯国际更新准证的申请进展。中芯国际对客户承诺，对于保存期很短的耗材，公司会做到3个月内不会中断；对于配件，公司会做到6个月内不会中断。